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  • 微观装置的制造及其处理技术
    • 一种MEMS滤波器制作方法与流程
      本发明涉及mems滤波器制作,尤其涉及一种mems滤波器制作方法。mems滤波器具有可调谐范围大、精细度高、自由光谱区宽的特点,在无线电通讯和光纤通信领域有着较为广泛的应用。滤波器一般包括衬底,衬底上附着有布拉格反射镜,布拉格反射镜上附着有两个电极。滤波器腔长调谐一般是通过静电或者...
    • 本发明涉及一种非抛光制作薄膜传感器用金属基底的方法,属于薄膜传感器。现有技术中,制作薄膜传感器用金属基底的方法,是通过抛光工艺,将金属基底的表面粗糙度达到硅片表面的程度。存在的技术问题:为了在金属基底上制作传感器并实现传感器电路层与金属基底的绝缘,金属基底的表面粗糙度通常需要达到硅...
    • 一种MEMS滤波器的制作方法
      本发明涉及滤波器,尤其涉及一种mems滤波器。mems滤波器具有可调谐范围大、精细度高、自由光谱区宽的特点,在无线电通讯和光纤通信领域有着较为广泛的应用。滤波器一般包括衬底,衬底上附着有布拉格反射镜,布拉格反射镜上附着有两个电极。滤波器腔长调谐一般是通过静电或者微电磁驱动滤波器上层...
    • 柔性MEMS器件和电子设备的制作方法
      本发明涉及mems器件领域,具体地,涉及柔性mems器件和电子设备。柔性电子器件可弯曲延展、高效、制造成本较低,柔性电子器件可根据应用场景(例如曲面)的形状进行良好的贴附,而不会改变其所贴附的表面的形状,还具有小型化与轻量化等方面的优势。mems(microelectromechanica...
    • 一种MEMS气体传感器芯片的封装结构的制作方法
      本申请涉及封装,更具体地说,涉及一种mems气体传感器芯片的封装结构。气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器。目前气体传感器种类繁多,应用范围广泛,大致可分为半导体式、电化学式、催化燃烧式、固体电解质式和红外线式等。其中催化燃烧式气体传感器计量准确,响应快速,寿...
    • 一种旋转结构的制备方法与流程
      本发明实施例涉及微机电系,尤其涉及一种旋转结构的制备方法。在微机电系统领域,旋转结构可以应用于自适应光学的波阵面校正、空间光调制、光学元件对准、显微操纵器、光开关、光衰减器和光学多路复用器等方面按照旋转结构的驱动方式不同,主要分为:电磁驱动、电热驱动、压电驱动和静电驱动等。电磁驱动...
    • 一种纳米孔局部亲疏水性修饰的方法与流程
      本发明属于微纳结构制备的一种方法,具体是涉及一种纳米孔局部亲疏水性修饰的方法。纳米孔由于其鲁棒性、高通量、稳定性、易于操控和低成本的特性,在生物领域(如纳米孔基于程序/蛋白质测序)、化学领域(如生物制药)、医学领域(疾病的检测预防)等领域的技术发展起到巨大推动作用。常见的固态纳米孔...
    • 微机电系统及其制造方法与流程
      本申请的实施例涉及微机电系统及其制造方法。最近已经开发了微机电系统(mems)器件。mems器件包括使用半导体技术制造以形成机械和电气部件的器件。mems器件被实现在压力传感器、麦克风、致动器、镜子、加热器和/或打印机喷嘴中。尽管用于形成mems器件的现有器件和方法通常已经足以满足其预期目...
    • 一种便于更换的物联网用MEMS传感器的制作方法
      本实用新型涉及mems传感器领域,具体来说,涉及一种便于更换的物联网用mems传感器。mems传感器即微机电系统,是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景,mems传感器是采用微电子和微机械...
    • 一种拓扑绝缘体波长转换器件的制作方法
      本发明涉及波长转换领域,具体涉及一种拓扑绝缘体波长转换器件。波长转换是指将一种波长的光转换为另外一种波长的光。波长转换能够实现波长的再利用,便于构成任意扩展的波分复用网络。因此,波长转换技术在全光通信中具有重要的作用。拓扑绝缘体材料具有宽带非线性和高稳定性,拓扑绝缘体材料在波长转换中具有重...
    • 一种超宽光谱吸收体、制备方法及其在光谱仪中的应用与流程
      本发明属于光谱检测领域,尤其涉及到一种超宽光谱吸收体、制备方法及其在光谱仪中的应用。光照射到物质上发生弹性散射和非弹性散射,弹性散射的散射光是与激发光波长相同的成分,非弹性散射的散射光有比激发光波长长的和短的成分,统称为拉曼效应。由于拉曼谱线的数目,位移的大小,谱线的长度直接与试样分子振动...
    • 一种基于SnSe2半导体的多功能智能传感器及其制备方法与流程
      本发明属于多功能传感器领域,尤其涉及一种基于snse2半导体的多功能智能传感器及其制备方法。无论是在安防、监控、健康等安全领域,还是在智能手机等移动电子领域,多功能传感器无疑是当前传感器技术发展中一个全新的研究方向。为了能够以较高的灵敏度和较小的粒度同时探测多种信号,微型数字式三端口传感器...
    • 一种MEMS滤波器和制备方法与流程
      本发明涉及一种mems滤波器和制备方法。mems技术被誉为21世纪带有革命性的高新技术,其发展始于20世纪60年代,mems是英文microelectromechanicalsystem的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(mems)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将...
    • 一种MEMS硅基腔体环行器/隔离器电路膜层结构及制备方法与流程
      本发明涉及微波集成器件领域,尤其涉及一种mems硅基腔体环行器/隔离器电路膜层结构及制备方法。微波铁氧体环行器/隔离器是各类雷达系统的不可缺少的关键器件,它主要用于解决微波系统级间隔离、阻抗匹配以及天线收发共用等系列问题,能够极大提高雷达系统的战术性能。环行器损耗与雷达系统性能息息相关,损...
    • 一种MEMS增强质量块惯性器件及其制备方法与流程
      本发明属于一种惯性器件,尤其涉及一种mems增强质量块惯性器件及其制备方法。自主导航技术可以实时获取无人智能控制系统自身的姿态信息,包括速度,加速度,角度等,是实现无人智能控制系统必不可少的技术保障,在众多导航技术中,惯性导航技术不需要依赖外界信息即可获得自身姿态信息,是自主导航的一种有力...
    • 一种MEMS惯性器件可动微结构的制备方法与流程
      本发明属于惯性器件的微纳制造领域,尤其涉及一种mems惯性器件可动微结构的制备方法。微机电系统(microelectromechanicalsystem,mems)是在微电子制造技术发展的基础上随着精密微型机械制造技术的发展而成长起来的,尺寸从微米到毫米级,集微型传感器、微型执行器、微型传...
    • 一种旋转结构及其制备方法与流程
      本发明实施例涉及微机电系,尤其涉及一种旋转结构的制备方法。在微机电系统领域,旋转结构可以应用于自适应光学的波阵面校正、空间光调制、光学元件对准、显微操纵器、光开关、光衰减器和光学多路复用器等方面按照旋转结构的驱动方式不同,主要分为:电磁驱动、电热驱动、压电驱动和静电驱动等。电磁驱动...
    • 一种大挤压膜阻尼扭转式微机械执行器的制作方法
      本发明属于微电子机械,具体涉及一种大挤压膜阻尼扭转式微机械执行器。扭转活动极板是许多微机械执行器件的核心部分,这类器件一般采用硅材料制造。图1是现有扭转式平板微执行器原理图。无输入电压时,活动极板与固定极板平行,且它们的极板间距为g0。施加输入电压后,活动极板在静电力矩作用下发生扭...
    • 包括电子器件的体液收集设备,及相关联的系统和方法与流程
      相关申请交叉引用本申请要求于2018年11月13日提交的,标题为“包括电子器件的体液收集设备,及相关联的系统和方法”的美国专利申请no.62/760,810的权益,通过引用其整体并入本文。本技术涉及体液收集设备,其包括用于确定所收集的体液,收集设备,患者,和/或收集体液的其他方面的特性的电子器件。...
    • 一种微导线垂直连接装置的制作方法
      本实用新型涉及一种微导线垂直连接装置,特别涉及一种用于垂直连接芯片上导电薄膜与外接微导线的电镀连接。在微机电系统中,芯片上的导电薄膜与外接导线常采用焊接的方法进行连接,但随着近年来产品的小型化趋势,使得焊接技术不能获得良好的连接质量。其他常用的导线连接方式也常因不能获得可靠的连接质量,而不...
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